大尺寸纳米级超精密光栅刻划机床

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      光栅是在测量长度反馈数据和精度测量,是战争武器攻击时的精确打击目标的工具。光栅制造也是民用产品数控装备的精度、光电产品精度**的理论说话依据。在基础工业中的地位非常高的级别。常受国家基础装备输出的限制。其制备方法有化学蚀刻沉积法和物理加工法,前者工艺复杂,后者加工成本较低。是国家863*重大专项。

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      光栅辊筒母版模具
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