空气导轨超超精密 GD5050H

本产品采用双层独立气浮静压导轨结构，专为小行程、超高精度、无摩擦运动场景设计。上下两层气浮系统协同工作，在保持纳米级定位精度的同时，实现优异的运动直线度与平面度，适用于半导体制造、精密测量、光学调芯、生物显微等对稳定性要求极高的场合。 核心特点： 双层气浮静压设计 上层和下层均采用多孔介质或小孔节流式静压气浮轴承，形成均匀气膜，彻底消除机械摩擦，实现无磨损、无颗粒产生的平滑运动。 纳米级运动精度 配合光栅或激光干涉仪闭环反馈，定位精度 ≤ ±50 nm，重复定位精度 ≤ ±20 nm，较小步进当量可达 1 nm。 小行程专用优化 行程范围通常为10 mm～50 mm（可定制至 100 mm），在短行程内保持极高的刚度与响应速度。 卓越的导向精度 双层结构相互补偿误差，运动直线度 / 平面度 ≤ 0.1 μm / 25 mm，俯仰、偏摆、滚转误差极小。 洁净与真空兼容 全气浮无润滑脂，适用于ISO 3 级及以上洁净环境；可选配真空兼容版本（10⁻⁶ mbar）。 灵活组合 可单轴、XY 堆叠或多轴组合使用，标准接口兼容常用控制器与软件（如 ACS、Aerotech等）。