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超精密加工技术的发展及对策  超精密加工技术的特点及其应用超精密加工目前尚没有统一的定义,在不同的历史时期,不同的科学技术发展水平情况下,有不同的理解。通常我们把被加工零件的尺寸精度和形位精度