超精密气浮圆度仪

超精密气浮圆度仪
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    产品特点：
    超精密气浮圆度仪利用气浮技术减少摩擦，通过高精度探头沿工件圆周扫描测量半径变化来获取圆度误差，其关键部件包括气浮旋转工作台等，拥有纳米级或亚微米级的圆度测量精度、高分辨率和良好重复性，主要应用于精密机械加工、光学制造、半导体制造等领域中对圆形工件圆度精度要求极高的测量场景。 台阶仪也是基于气浮原理，通过触针式测量，当触针经过工件台阶时检测垂直位移变化来确定台阶高度，配备高精度探头和驱动系统，具有纳米级台阶高度测量精度、高分辨率和高重复性，在精密机械加工、光学制造、半导体制造等行业用于测量台阶类结构的高度

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