高精度气浮转台

台面直径指标

120mm

150mm

170mm

200mm

250mm

300mm

轴向跳动（μm）

＜0.1

＜0.1

＜0.18

＜0.15

＜0.25

＜0.3

径向跳动（μm）

＜0.1

＜0.2

＜0.3

＜0.3

＜0.4

＜0.4

承重（N）

＞300

＞400

＞500

＞1000

＞1500

＞2000

供气压力

0.4 ~ 0.6MPa

驱动方式

无驱动/手动驱动/马达驱动

材料

有色金属/航空材料/不锈钢

备注：1、可根据客户的需求提供设计方案，也可直接按其方案加工制造；

2、配合圆光栅后全角360°最高精度优于±0.01″；

3、可提供±0.5″、±1″、±5″的转台；其中±1″、±5″的转台台面直径≥200mm。

4．转台台面直径大于300mm可直接定制，最大可做到直径2000mm。