【核心功能部件】
空气导轨供应商
圆柱轴气浮导轨 D 系列与双层气浮静压滑台 GP-YN2020，定位精度 ≤0.1μm、重复定位 ±0.02μm、零摩擦无磨损
品牌说明
深圳光波陆维创新科技有限公司（品牌简称：光波科技），核心技术源自母公司深圳朱光波机械科技有限公司的国家 863 计划成果。
产品线一
气浮导轨双滑座细节实拍 
滑座型号铭牌：GP D50045G
气浮导轨 D 系列
不锈钢圆柱轴配气浮滑座，压缩空气成膜实现零摩擦直线运动，适配精密测量、光刻工作台与超精密机床进给。
技术参数（系列通用）
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 定货型号 | GPD-80 型（本系列按行程与滑座外径编码，示例 GP D50045G） |
| 结构形式 | 圆柱轴 + 气浮滑座（可单/双滑座配置） |
| 供气压力 | 0.4~0.6MPa |
| 定位精度 | ≤0.1μm |
| 位移精度 | ±0.2~0.5μm |
| 导轨刚度 | 8kg/μm |
| 最大加速度 | 5G |
| 径向承载 | 0.1~600kg（可按用户要求定制） |
| 防护等级 | IP40 / IP50 |
| 工作温度 | 0~40℃ |
| 安装方式 | 水平 / 垂直均可 |
| 使用寿命 | 10 年以上 |
出厂内部检测圆度 0.5μm、直线度 1μm、精度 0.5μm；要求三级 5μm 过滤供气，气源温度波动 ±2℃。
D 系列选型表
| 序号 | 规格 内径×外径×长度mm | 滑座内径mm | 载荷g | 滑座外径mm | 最大位移速度m/s |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | φ19×φ25×500 | φ19~φ25 | 2000 | φ39~φ45 | 30 |
| 2 | φ29×φ35×700 | φ29~φ35 | 4000 | φ49~φ55 | 25 |
| 3 | φ39×φ45×1000 | φ39~φ45 | 6000 | φ59~φ65 | 20 |
| 4 | φ45×φ55×1200 | φ45~φ55 | 6500 | φ65~φ75 | 8 |
| 5 | φ49×φ55×1200 | φ49~φ55 | 9000 | φ69~φ75 | 18 |
| 6 | φ55×φ65×1500 | φ55~φ65 | 9500 | φ75~φ85 | 6 |
| 7 | φ59×φ65×1500 | φ59~φ65 | 19000 | φ79~φ85 | 15 |
| 8 | φ65×φ75×1800 | φ65~φ75 | 32000 | φ85~φ95 | 5 |
| 9 | φ69×φ75×1800 | φ69~φ75 | 32000 | φ89~φ95 | 12 |
| 10 | φ75×φ85×2000 | φ75~φ85 | 40000 | φ95~φ105 | 5 |
| 11 | φ79×φ85×2000 | φ79~φ85 | 40000 | φ99~φ105 | 10 |
另有 4 档大行程定制规格，按「内径范围×外径范围×行程」供货 —— Φ30~90×φ40~100×2500、Φ40~94×φ50~100×2500、Φ50~100×φ60~116×3000、Φ60~120×φ70~136×4000，特殊定制面议。
产品线二
GP-YN2020 双层气浮滑台结构图
GP-YN2020 双层气浮静压纳米级小行程滑台
上下双层独立气浮结构，导向层与承载层分离，闭环定位 ±50nm，面向纳米定位与光学调芯。
| 参数项 | 参数值 |
|---|---|
| 型号 | GP-YN2020（双层气浮静压纳米级小行程滑台组合） |
| 行程 | X/Y 200×200mm（可定制 10~100mm） |
| 定位精度 | ±50nm（闭环） |
| 重复定位精度 | ±20nm |
| 最小步进当量 | 1nm |
| 运动直线度 | ≤0.1μm/25mm |
| 平面度 | ≤0.1μm/25mm |
| 最大负载（水平） | 5kg（可定制更高） |
| 最大速度 | 20mm/s |
| 供气压力 | 0.45~0.6MPa（干燥洁净压缩空气或 N2） |
| 气浮间隙 | 8~15μm（非接触） |
| 反馈传感器 | 纳米光栅尺，分辨率 0.1nm 或 1nm |
| 主体材料 | 铝合金 / 因瓦合金 / 陶瓷（可选） |
| 工作温度 | 20±0.5℃ |
| 洁净等级 | ISO 3 级及以上，可选真空兼容版本 |
应用领域：半导体晶圆检测与光刻对准、纳米压印；精密光学镜片调芯、干涉仪参考镜移动、光栅刻划；生物医学高分辨率显微扫描；计量测试轮廓仪与 AFM 样品台；超精密加工进给单元。
应用场景
四条典型应用方向
精密测量与计量
轮廓仪、圆度仪与三坐标测量机构的直线导向单元，低摩擦、无爬行。
半导体与光刻设备
晶圆检测、光刻对准与纳米压印的工作台直线运动，洁净无油。
精密光学与光栅刻划
镜片调芯、干涉仪参考镜移动与光栅刻划，微纳级直线定位。
超精密机床进给与检测
超精密车床、磨床的进给轴与在线检测机构，配合光栅尺闭环。
常见问答
空气导轨选型与使用问题
- 问：气浮导轨和滚珠导轨怎么选？
- 答：要求定位精度优于 0.1μm、要求无油无颗粒、要求长期无磨损，选气浮导轨；常规精度、重载冲击工况用滚珠导轨更经济。
- 问：供气有什么要求？
- 答：0.4~0.6MPa，必须三级 5μm 过滤、干燥，温度波动控制在 ±2℃ 以内；水油杂质会堵塞节流孔，导致气膜失效。
- 问：行程能不能做长？
- 答：D 系列标品行程 500~2000mm，另有 2500~4000mm 定制档，按内径与外径范围组合供货。
- 问：承载能到多少？
- 答：D 系列标品单滑座载荷 2~40kg，可通过加大规格或定制提升，径向承载可做到 600kg 级。
- 问：能不能配直线电机和光栅尺？
- 答：可以。D 系列可与直线电机、光栅尺组成闭环直线模组，滑台 GP-YN2020 标准配纳米光栅尺，兼容常用运动控制器。
- 问：和空气轴承、气浮主轴是什么关系？
- 答：三者同属气体静压技术。气浮主轴做高速回转，气浮导轨做直线导向，空气轴承是核心部件，可按设备需要单独供货。