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1、测量范围:Z轴方向测量高度GP-THL400A:≤Φ600mm,GP-THL400B:≤1200 mm
X轴移动最大距离 400 mm 最小测量孔径 Φ9 mm
2、可移动气浮测量装置:X轴导轨移动直线度:0.5µm/ 100 mm导轨移动距离精度进口光栅尺):分辨率1µm ,精度:3µm/全行程 承重:40 kg
3、传感器:测针上下移动(量程:6mm (可扩展12 mm)垂直分辨率:1/70000
4、调整装置可调范围:X轴水平方向可调45°;Y轴前后方向可调10 mm;扇形方向可调10°
5、测量精度(半径误差):0.1~1%
6、重复测量精度:3%
7、测量速度:0.1~0.4 mm/s分3档选择
8、电源:220V,50Hz 0.5 kW
9、气源压力:≥0.5 MPa
主要指标:
· 探针尖半径(Stylus):2.0 µm, 0.7 µm
· 厚度测量范围(Vertical scan range): up to 1 mm
· 探针作用力(Force):1 ~ 15 mg
· 扫描长度(Scan length):50 µm ~ 55 mm
· 视场范围(Field of view):1 ~ 4 mm
· 台阶高度重复性(Step height repeatability):< 5 Å
· 垂直方向分辨率(Vertical resolution):1 Å (for 6.55 mm measurement range)
测量样品最大尺寸(Sample compatible):150 mm